帶電物體接近被測電路的輸入端時，就會發生靜電耦合和干擾。在低阻抗之下，由于電荷迅速消散，所以干擾的影響不明顯。然而，高阻材料不允許電荷迅速衰減，就可能產生不穩定的測量結果。由于錯誤的讀數可能由直流或交流靜電場引起，所以靜電屏蔽有助于盡量降低這種電場的影響。直流電場可能產生有噪聲的讀數或無法探測的誤差。實驗電路附近的運動（例如，操作儀器人員的運動或者在臨近區域里的其它運動等）引起靜電計顯示讀數發生波動，就反映出這種場的存在。為了迅速檢查干擾的存在，在電路附近放置一個帶電的塑料物體，如梳子等。儀表的讀數發生大的變化就說明屏蔽不夠完善。
交流電場同樣會產生麻煩。交流電場常常由供電電源和RF場引起。如果輸入端的交流電壓很大，其一部分信號被整流，于是在被測的直流信號中產生了誤差。用示波器觀察靜電計或皮安計的模擬輸出，可以對此進電感器生產行檢查。限幅的波形表明需要改進靜電屏蔽。圖2-42示出在靜電計的2V模擬輸出端觀察到的限幅波形。在這個例子中，限幅作用使直流讀數降低大約50%。
對于SMU來說，在其保護端和公共端之間連接示波器就可以觀察交流干擾情況。
圖1示出一個交流靜電耦合的例子。在導體（例如電纜或印制電路板上的線）附近的靜電電壓源會產生正比于電荷變化率和耦合電容變化率的電流。該電流可以按下式來計算：
i = C dv / dt + V dC / dt
